BURKERT毛細管傳感器作用,介紹寶得毛細管傳感器

BURKERT毛細管傳感器作用,介紹寶得毛細管傳感器
主管道中的層流元件產生個必需的壓差，使小部分流量進入旁路管道。
旁路管道內壁上裝有帶膜硅芯片，用于測量流量。
采用 CMOS 傳感器技術，在這塊膜上有個加熱電阻和兩個對稱的
溫度傳感器（分別位于上游和下游）。
如使加熱電阻保持在個恒定溫度，
則兩個溫度傳感器的壓差即可用于測量旁路通道內流過芯片的氣體的流量。
 該溫度傳感器的熱量低、與介質直接接觸，因此具有許多特定的優勢，
其中之就是對于流量變化的響應極快。

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帶 CMOS 傳感器的 MFC 具有100 ms 的響應時間，且靈敏度高，即使流量很小時也是如此。
與 CMOS 傳感器樣，毛細管傳感器也是采用層流元件來產生壓差，
使小部分流量進入旁路管道。而主要區別在于：毛細管傳感器不與介質直接接觸。
兩個溫度相關的電阻纏繞在不銹鋼毛細管上，構成半個惠斯頓電橋。
當氣體流過毛細管時，就會帶走部分熱量，流向為從 R1 R2。
這時，R1 的阻值下降，而 R2 的阻值上升。
如果給電橋提供恒定的電流，其輸出電壓就與這兩個電阻的差值成正比。
因此該輸出電壓與流過的氣體的流量成線性關系。
其線性關系甚使該傳感器可用于未經標定的氣體：
通過采用個轉換因子對當前介質的測量值進行修正。
這樣就可簡化標定，同時正確選擇傳感器材質可確保毛細管傳感器適用于腐蝕性氣體。